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氧分析儀

Gasboard-3053

氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩(wěn)定性的氧化鋯核心傳感器，覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測(cè)量。具有測(cè)量精度高、響應(yīng)時(shí)間快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域，為關(guān)鍵的過(guò)程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計(jì)，體積小巧，便于在復(fù)雜?況下安裝，同時(shí)配備直觀豐富的用戶界面，提供卓越的人機(jī)交互體驗(yàn)。

產(chǎn)品咨詢

產(chǎn)品特性

測(cè)量精度?，ppm級(jí)別測(cè)量
響應(yīng)速度快，秒級(jí)出數(shù)
即插即??體化設(shè)計(jì)
內(nèi)置采樣泵與過(guò)濾系統(tǒng)，安裝維護(hù)便捷
本地化端到端服務(wù)保障

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體、LED等?產(chǎn)過(guò)程中氧濃度控制、惰性保護(hù)?體?產(chǎn)及焊接?藝中氧濃度監(jiān)測(cè)、空?分離加??藝中氧濃度測(cè)定、真空?套箱系統(tǒng)中氧含量的監(jiān)控

技術(shù)參數(shù)

微量-常量氧分析儀
功能性能需求	檢測(cè)氣體	O₂
	量程范圍	0~10~100~1000ppm，0~25%，自動(dòng)切換
	最低檢出限	0.5ppm
	分辨率	0.1ppm
	準(zhǔn)確度/示值誤差/精度（ppm=氧分壓/當(dāng)前?作總壓）	≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以較大值為準(zhǔn)
	響應(yīng)時(shí)間	T₉₀≤10s
	預(yù)熱時(shí)間	≤20min
	零點(diǎn)漂移	±0.5%F.S.
	量程漂移	±0.5%F.S.
	重復(fù)性	±0.5%F.S.
電氣結(jié)構(gòu)	通訊協(xié)議	RS-232，RS-485
	氣路接口	進(jìn)氣/出氣 1/4''VCR-F
	結(jié)構(gòu)形式	一體式
	結(jié)構(gòu)尺寸（LWD）	210134300mm
環(huán)境要求	傳感器（RSM）工作溫濕度	溫度：0~50℃；濕度：0~95%RH，非冷凝
環(huán)境要求	采樣流量	0.5~1L/min傳感器內(nèi)設(shè)控流組件

*具體參數(shù)請(qǐng)以規(guī)格書為準(zhǔn)，如需獲取更多技術(shù)信息，請(qǐng)聯(lián)系：027-81628829或info@gasanalyzer.com.cn